沈阳恒温恒湿净化车间 半导体车间建设

沈阳恒温恒湿净化车间专为半导体制造提供高精度环境控制，温控精度达±0.5℃，湿度波动≤±2%RH，满足ISO Class 5至Class 8洁净等级要求。系统集成FFU送风、高效过滤及自动补风，确保微污染颗粒控制达标。材质选用防静电彩钢板与环氧地坪，符合工业安全及防爆规范。建议根据工艺段需求定制风量、换气次数及压差梯度，并预留设备接口。具体方案需结合现场勘测及能效评估，交期与报价以工程核算为准。